美国BROOKS SLAMF60防爆型质量流量计

布鲁克斯仪器创始于1946年。总部位于美国宾夕法尼亚州。布鲁克斯仪器在工业仪表行业中位列*。2008年，曾作为500强及工业控制排名的艾默生（Emerson）集团创始公司之一的布鲁克斯仪器从艾默生公司中独立出来。公司现在超过15个国家和地区拥有分支机构和办事处。我们研制、生产并销售高性能的流量仪表仪器，广泛应用于医药、采炼油、化工、医疗、分析仪器、半导体制造等等行业，以满足这些行业日益增长的对工业仪表的精益求精的需求。我们通过对顾客需求的独到见解，在业务网络中为客户提供便捷迅速的解决方案及集成应用。布鲁克斯的成就来源于我们在行业中逾60年的。

美国BROOKS布鲁克斯公司热式质量流量计是为了满足有关工艺过程中对测量精度、重复性和控制方面的要求而设计的产品。它与传统的体积流量仪器截然不同，BROOKS质量流量计通过被测气体的比热来测量流量，不受温度、压力变化的影响。因此该产品在各种不同的工作环境下均有较高的精度。被测流量可设计成质量或体积单位。此外，所有BROOKS INSTRUMENT质量流量计产品都能同现有的工业仪表兼容，安装简便。

SLAMF60_防爆型数模橡胶密封质量流量计(30C51L)布鲁克斯/Brooks气体质量流量控制器和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。?数模橡胶密封;流量范围:0.003-30 slpm;耐压:100 Bar精度:±1.0% of rate(20%-**** FS);±0.2% FS(below 20% FS);±1.0% of FS(1100-2500 slpm)