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美国BROOKS布鲁克斯公司热式质量流量计是为了满足有关工艺过程中对测量精度、重复性和控制方面的要求而设计的产品。它与传统的体积流量仪器截然不同，BROOKS质量流量计通过被测气体的比热来测量流量，不受温度、压力变化的影响。因此该产品在各种不同的工作环境下均有较高的精度。被测流量可设计成质量或体积单位。此外，所有BROOKS INSTRUMENT质量流量计产品都能同现有的工业仪表兼容，安装简便。
| MFC 气体质量流量控制器 |
| MODEL型号：GF100CXXC |
| GAS气体：SIH4 |
| FLOW RANGE流量: 0-30SLPM |
| INPUT PRESSURE进口压力:：0.3MPA |
| OUTPUT PRESSURE出口压力：0.1MPA |
| O-RING SEAL 密封:：Metal Seal |
| FITTING气路接头:：1/4"MVCR |
| OUTPUT 信号输出：0-5V/4-20MA |
| Power电源：15V/24V |
| ELECTRICAL 电线接口: device net/RS485/RS232 |
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