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BROOKS布鲁克斯GF125质量流量计

简要描述：应用行业：石油化工、大学实验室、航空航天、研究所、医院、食品制造业、造船、半导体、太阳能、液晶面板制造、微电子等行业
应用领域：仪表系统、流体设备等检测流体或控制流体流量的领域.
产品种类：质量流量计、质量流量控制器、流量控制仪表、流量控制系统装置（多路控制）

  • 产品型号：GF125
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2021-03-08
  • 访  问  量：335
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详情介绍
  • 长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 ± 0.5%
  • 稳定时间：500 ms - <1 秒
  • 满量程流速高达 300 slpm
  • 全金属密封流路： Ra 表面处理的流路
  • 耐腐蚀 Hastelloy® T-Rise 传感器可提升高温下测量结果的可重现性
  • MultiFlo™ 气体和量程设定功能 — 一台设备即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求，无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度
  • 本地显示屏
  • 可选 SDS 气体输送
  • DeviceNet™、RS-485 L-协议和模拟接口
  • 半导体蚀刻工具
  • 薄膜化学气相沉积系统（CVD、MOCVD、PECVD、ALD）
  • 物理气相沉积 (PVD) 系统
  • 外延工艺系统


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