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简要描述:BROOKS MFC 气体质量流量计ODEL型号:5850EGAS气体:N2FLOW RANGE流量:0-30SLPMINPUT PRESSURE进口压力::0.4MpaOUTPUT PRESSURE出口压力:0.1MpaO-RING SEAL 密封::VitonFITTING气路接头::1/4“SWGOUTPUT 信号输出:0-5VPower电源:±15V
BROOKS 5850E型流量控制器能精确的测量和控制气体流量。其核心是一个可拆卸的测量气体流量的探头,该探头产生跟流量成线性比例的电输出信号用来显示、记录和/或控制。该装置不需要气体压力进行连续的监测和重新调整就可以提供稳定的气体流量。
设计特性:
·易维护
·快速响应设定变化
·可忽略过冲/下冲影响
·可拆除传感器
·对安装方位不要求
·较大的流量控制范围(大可达30 sl/min N2)
·外置零点和量程调节电位器
·跳线可设定软启动
·可设定外部电磁阀控制
·不要求中止流量
·常闭阀(可选常开阀)
·可兼容其他流量控制器
·抗腐蚀
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