BROOKS 5860质量流量计

一、brooks气体质量流量计概览

Brooks的数字与模拟热式质量流量控制器具有业界的性能—我们的许多产品都已连续工作了20年以上。我们的新型热式质量流量设备在响应时间、精度、可重复性、调节比及自诊断方面均具有显著的优势。

我们的热式质量流量产品还通过了多种防护（IP）认证，适用于多种危险场所。

二、brooks气体质量流量计产品特点

·         较低的泄漏率

·         结构紧凑

·         内螺纹排气口抛光处理

·         常闭阀

·         对安装位置不敏感

三、brooks气体质量流量计技术参数

·         数字信号/模拟信号输出,可通过电脑直接显示控制,可配单/四/八通道显示控制器

·         介质:可选H2,O2等非腐蚀性气体或SiO2,SO2等腐蚀性气体

·         流量范围:0.03-30slpm

·         量程比：50:1

·         大工作压力: 1500psi(10.432Mpa)

·         气路接头: 1/4"VCR或1/4"SWG

·         电气接头:15 Pins D-Type或Card-edge

·         精度:±1%FS

·         重复性：0.25% of rate

·         响应时间：1-3s

·         差压要求：3-6bar（压差要求与介质、量程有关）

·         操作温度范围：5~65℃

·         输出信号：0-5VDC或4-20mA

·         电源：+/-15V