BROOKS 0550E质量流量控制器质量流量计

简要描述：BROOKS MFC 气体质量流量计
ODEL型号：0550E
GAS气体：N2
FLOW RANGE流量:100SCCM
INPUT PRESSURE进口压力:：0.4Mpa
OUTPUT PRESSURE出口压力：0.1Mpa
O-RING SEAL 密封:：Viton
FITTING气路接头:：1/4“SWG
OUTPUT 信号输出:0-5V

产品型号：0550E
厂商性质：代理商
更新时间：2022-10-10
访问量：552

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详情介绍

· 数字信号/模拟信号输出,可通过电脑直接显示控制,可配单/四/八通道显示控制器

· 介质:可选H2,O2等非腐蚀性气体或SiO2,SO2等腐蚀性气体

· 流量范围:0.03-30slpm

· 量程比：50:1

· 大工作压力: 1500psi(10.432Mpa)

· 气路接头: 1/4"VCR或1/4"SWG

· 电气接头:15 Pins D-Type或Card-edge

· 精度:±1%FS

· 重复性：0.25% of rate

· 响应时间：1-3s

· 差压要求：3-6bar（压差要求与介质、量程有关）

· 操作温度范围：5~65℃

· 输出信号：0-5VDC或4-20mA

· 电源：+/-15V

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