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Brooks质量流量计(金属转子流量计)

简要描述:Brooks质量流量计能够根据命令变化在 3 秒内完成设置并且过冲/下冲可忽略不计,长期零点稳定性,每年变动小于满量程的 0.2%。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-03-12
  • 访  问  量:1284
详情介绍

Brooks质量流量计仪表应用:

1.光端机。

2.LED/MOCVD。

3.半导体。

4.太阳能。


Brooks质量流量计仪表特点:

1.长期零点稳定性,每年变动小于满量程的 0.2%。

2.能够根据命令变化在 3 秒内完成设置并且过冲/下冲可忽略不计。

3.流量范围宽 - 3 sccm 至高达 30,000 slpm。

4.高压额定值 - 高达 1,500 psi。

5.可选增强型内部后处理工艺 - 5? 英寸 Ra(平均值)。

6.可拆卸式流量传感器。

7.不受安装角度影响。

8.其他质量流量控制器在机械和电气设计方面兼容。

9.TTL 兼容型"阀关闭"和吹扫功能。

Brooks质量流量计仪表优势:

1.全金属流路可确保气体纯度并降低泄漏风险。

2.在广泛的工艺和应用范围内拥有经认可的长期稳定性和准确性。

3.由于性能可靠,因此投资回报率出众。

4.采用可拆卸式流量传感器,因此无需对气压进行连续监测和重新调节。

5.由于模拟量仅为输入/输出,因此易于安装和保养。

 

 

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