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Brooks SLA5851S 质量流量计

简要描述:Brooks SLA5851S 质量流量计关键应用:化学品与石化分析和试验过程;实验室和分析系统;生命科学实验室;薄膜气相沉积;热处理、切割等其他热过程;真空应用。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-03-12
  • 访  问  量:1301
详情介绍

关键应用

  • 化学品与石化分析和试验过程
  • 实验室和分析系统
  • 生命科学实验室
  • 薄膜气相沉积
  • 热处理、切割等其他热过程
  • 真空应用

 

 

17025 Certified Devices (Includes linearity, excludes calibration system measurement uncertainty, per SEMI E69)

±0.6% of SP (20- FS)

±0.12% of FS (<20% FS)

1100 slpm up to 2500 slpm: ±0.6% of FS

 

Standard Devices (includes uncertainty from reference standards

±0.9% of SP (20- FS)

±0.18% of FS (2-20% FS)

1100 slpm up to 2500 slpm: ±1.0% of FS

模拟通讯

0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA

 

数字通讯 DeviceNet™
EtherCAT®
EtherNet/IP™
FOUNDATIONTM Fieldbus
Profibus®
PROFINET
RS-485

 



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