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特点
- 可编程多气体/多量程功能
- Brooks® MultiFlo™ 气体数据库包含数千种天然气体测定结果，可用于建立修正函数
- 流量响应时间不足 1 秒，精度可达目标应用设定值的 1%
- 非常适用于各种气体
- 快速响应，哈氏合金传感器
- 拥有独立于工具通信并可轻松接入的诊断服务端口
- 多协议通信选件包括 DeviceNet™、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485 模拟接口
优势
- MultiFlo™ 技术能够在不拆除管路中 MFC 的条件下设定新气体和满量程，从而大限度延长运行时间
- MultiFlo™ 编程功能简单、易用；60 s 内即可完成新气体的选择操作
- 可大幅降低设备商和大型终端用户的流量控制器库存
- 得益于基于标准的高级计量系统和校准技术，产品拥有出色的工艺气体测量精度
- 耐腐蚀传感器拥有*的长期稳定性，可确保良率和产能大化
- 对用户开放的服务端口简化了故障排除和诊断操作
- 各种橡胶密封件为各种应用提供了经济实惠的性能灵活性
- 多协议通信接口可集成至现有系统
应用
- 太阳能电池化学气相沉积
- 生命科学实验室
- 真空处理
- 纳米技术/MEMS 制造
- 等离子体、玻璃和卷绕镀膜系统
- 非常适用于管汇系统/气体输送系统
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