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Brooks质量流量计

简要描述:Brooks质量流量计的特点是高精度、高零点稳定性以及高重复性,而上述特性正是行业对质量流量测量和控制技术的需求所在,产品设计采用先进的可配置多气体/多量程功能,非常适用于各 OEM:尺寸小巧,可轻松集成至紧凑的设备空间内并有助于加快安装

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2023-07-07
  • 访  问  量:1748
详情介绍
  • 流量响应时间(完成时间)<0.75 s
  • 创新型 MEMS 传感器和*的 PID 算法
  • 尺寸小巧,不足常规热式MFC的 一半:1'' x 3''x 4'' (25 mm x 76 mm x 101 mm)
  • 本地操作界面 (LOI) 选项可简化设置和操作;免费提供 LabVIEW VI 下载以进行设备监测和调零
  • 通过 RS-232 实现数字化功能

优势

  • 非常适用于各种常见的无腐蚀性气体
  • 响应速度快,可在切换工艺配方时确保各步骤的迅速完成
  • 非常适用于各 OEM:尺寸小巧,可轻松集成至紧凑的设备空间内并有助于加快安装
  • 可选本地操作界面 (LOI) 是本地指示、设定值控制和设备配置的一站式解决方案;无需借助远程二次仪表
  • 拥有多种通信方式,可轻松满足用户需求

应用

  • 热处理、切割/焊接等其他热式工艺
  • 太阳能/薄膜物理气相沉积 (PVD) 系统
  • 用于测量和控制反应物、校准和样品气体流量的分析设备


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